半导体零部件

一、设备

芯片制备过程如下图。

其中用到多种设备如热处理设备（北方华创），沉积设备（北方华创、拓荆科技），光刻机（上海微电子），刻蚀设备（中微公司、北方华创），抛光设备（华海清科），清洗机（盛美上海），检测设备（赛腾股份）。

近期，米国对国内先进制程半导体进行了又一轮的管制，市场担忧部分设备企业可能在关键环节上被卡脖子，加上先前设备企业估值已经不低，因此设备企业可能短期确定性稍差一些。

二、耗材

材料涉及的企业更加多而杂，这里只简单列举一下。

特种气体，如凯美特气，华特气体，南大光电等；

光刻胶，湿电子化学品，如上海新阳，晶瑞股份等；

抛光材料，如安集科技，鼎龙股份等；

靶材，龙头是江丰电子。

三、零部件

这是目前逻辑上最顺的环节，也是我重点关注的环节。

以刻蚀设备为例，设备由多个系统或零部件构成，如机械手、冷泵、静电卡盘、真空规等，具体如下图。

具体企业主要看

1、富创精密。主要做半导体精密金属零部件加工制造，产品品类非常丰富，年均向客户交付零件种类3000种，具备7nm制程零部件的生产能力。确定性高，增速快，唯一缺点是估值高了些，当下，对应明年仍有70多倍估值。

2、新莱应材

公司主营业务是以高纯不锈钢为母材的高洁净、高纯应用材料，主要产品包括泵、阀、法兰、管道和管件等。

高洁净流体管路系统是超高真空系统的关键组件。除了涉及半导体领域，产品也应用在食品安全、生物医药领域，准入门槛较高，国际上以欧美日韩产品为主，中国市场份额不到5%，目前部分产品已经进入国际市场。

3、正帆科技

国内领先的工艺介质供应系统商，专业从事电子工艺设备、生物制药设备、电子气体和 MRO 服务，并拓展半导体零部件 气柜（GasBox） 业务，气柜系统在刻蚀设备、沉积设备、离子注入设备等都要使用。

4恒运昌

主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。

5托伦斯

公司是国内领先的精密金属零部件的研发、生产和销售的综合服务商。

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