【关键词“光刻机”】
光刻机是芯片制造最核心的设备（光刻工艺占芯片制造1/3成本+1/2时间），也是大陆国产化率最低的设备，市场被ASML+Nikon+Canon三寡头垄断，23年中国光刻机进口额88亿美元，同比增长121%。
光刻机由光源、照明系统、投影物镜、工件台等部件组装而成，核心部件技术难度高，被海外厂商垄断，目前大陆厂商陆续实现从0到1的突破。
概念股梳理：茂莱光学、福晶科技、汇成真空、腾景科技、炬光科技、永新光学、阿为特、张江高科、波长光电、福光股份、晶方科技、美埃科技等。