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半导体
报告期内阿石XX——公司所处行业情况
1、PVD行业简介
物理气相沉积(PVD)为真空镀膜技术的一个分支路线,相较于传统的电镀、化学镀、热加工等工艺, 具有以下优点:(1)成膜均匀,硬度高,耐极端使用环境;(2)颜色多样化,可在红黄蓝三原色基础之上任意调色;(3)材料适应范围广,尤其针对不导电材料;(4)环保无污染,无铬离子等重金属污染。
PVD技术分为蒸镀法、溅镀法和离子镀法。三种方法各有优劣势:蒸镀速度快,溅镀法均匀性好,离子 镀绕镀能力强。不同方法的选择主要取决于产品用途与应用场景。
从应用角度来看,PVD镀膜作为物体表面处理技术,应用空间非常广泛,不同应用有不同的要求,例如 半导体、平板光伏对镀膜材料织构要求较高,光学、防伪对膜层设计要求较高,电磁+传感对原材料的要求 较高。
PVD设备主要包括真空系统(主泵、罗茨泵、机械泵、维持泵)、镀膜系统(溅射源、蒸发源)、电源 、辅助系统等。国内主要以广东、成都、兰州、上海、沈阳等传统国有真空设备厂商及其延伸厂商为主,但整体技术实力相较国际一线厂商如爱发科、应用材料(AKT)等仍有差距。
2、PVD材料简介
根据镀膜设备与使用场景的不同,可以按照外形尺寸将靶材分为蒸镀材料(蒸镀靶材)、平面靶材、旋转靶材等,蒸镀材料(蒸镀靶材)适用于蒸发镀膜,加热方式有电阻、感应、电子束等,平面靶材、旋转靶材适用于溅射镀膜,采用离子源轰击模式。
PVD材料的生产可以分为粉末冶金、金属熔铸两类工艺,粉末冶金(含喷涂)适用于难熔金属、化合物 、合金靶材,金属熔铸(含挤压)适用于普通易熔炼金属,常见的靶材性能指标有纯度、晶粒大小与取向(织构)、致密度、气体含量等。
PVD材料的技术壁垒体现在设备端配合修正、工艺端制造、应用端理解等。
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